The Formation of Silicon Carbide in the SiCx Layers (x = 0.03–1.4) Formed by Multiple Implantation of C Ions in Si

None

Αποθηκεύτηκε σε:
Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριοι συγγραφείς: Nussupov, Kair Kh., Beisenkhanov, Nurzhan B.
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Κεφάλαιο βιβλίου
Γλώσσα:Αγγλικά
Έκδοση: IntechOpen 2011
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:https://www.intechopen.com/chapters/21140
Ετικέτες: Προσθήκη ετικέτας
Δεν υπάρχουν, Καταχωρήστε ετικέτα πρώτοι!