Fabrication and Characterization of a PZT-Based Touch Sensor Using Combined Spin-Coating and Sputtering Methods
This study presents the successful fabrication of lead zirconate titanate (PZT) thin films on silicon (Si) substrates using a hybrid deposition method combining spin-coating and RF sputtering techniques. Initially, a PZT layer was deposited through four successive spin-coating cycles, followed by an...
Zapisane w:
| Główni autorzy: | , , |
|---|---|
| Format: | Artykuł |
| Język: | angielski |
| Wydane: |
MDPI AG
2025-06-01
|
| Seria: | Sensors |
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | https://www.mdpi.com/1424-8220/25/13/3938 |
| Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|