Optical-Thermal Phenomena in Polycrystalline Silicon MEMS During Laser Irradiation
None
Bewaard in:
| Hoofdauteurs: | Serrano, Justin R., Phinney, Leslie M. |
|---|---|
| Formaat: | Elektronisch Hoofdstuk |
| Taal: | Engels |
| Gepubliceerd in: |
IntechOpen
2012
|
| Onderwerpen: | |
| Online toegang: | https://www.intechopen.com/chapters/33599 |
| Tags: |
Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
|
Gelijkaardige items
-
Thermal Microactuators
door: Phinney, Leslie M., et al.
Gepubliceerd in: (2012) -
ArF Excimer Laser Annealing of Polycrystalline Silicon Thin Film
door: Bidin, Noriah, et al.
Gepubliceerd in: (2012) -
Optical MEMS
door: Piyawattanametha, Wibool, et al.
Gepubliceerd in: (2012) -
Strength Reliability of Micro Polycrystalline Silicon Structure
door: Hamada, Shigeru, et al.
Gepubliceerd in: (2011) -
Laser Applications of Transparent Polycrystalline Ceramic
door: Lou, Qihong, et al.
Gepubliceerd in: (2011)


