Plasma Based Dry Release of MEMS Devices
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| Autore principale: | |
|---|---|
| Natura: | Elettronico Capitolo di libro |
| Lingua: | inglese |
| Pubblicazione: |
IntechOpen
2012
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| Soggetti: | |
| Accesso online: | https://www.intechopen.com/chapters/33597 |
| Tags: |
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