New Approach to Pull-In Limit and Position Control of Electrostatic Cantilever Within the Pull-in Limit
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| Autori principali: | , , |
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| Natura: | Elettronico Capitolo di libro |
| Lingua: | inglese |
| Pubblicazione: |
IntechOpen
2012
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| Soggetti: | |
| Accesso online: | https://www.intechopen.com/chapters/31998 |
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| Riassunto: | None |
|---|---|
| ISBN: | 978-953-51-0239-7 |
| DOI: | 10.5772/39116 |