Atom Lithography: Fabricating Arrays of Silicon Microstructures Using Self-Assembled Monolayer Resist and Metastable Helium Beam
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| Autori principali: | , , |
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| Natura: | Elettronico Capitolo di libro |
| Lingua: | inglese |
| Pubblicazione: |
IntechOpen
2011
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| Soggetti: | |
| Accesso online: | https://www.intechopen.com/chapters/24491 |
| Tags: |
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