Electron Beam Lithography for Fine Dot Arrays with Nanometer-Sized Dot and Pitch

None

Sparad:
Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman: Hosaka, Sumio
Materialtyp: Elektronisk Bokavsnitt
Språk:engelska
Publicerad: IntechOpen 2011
Ämnen:
Länkar:https://www.intechopen.com/chapters/24489
Taggar: Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!