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Deposition and growth : limits for microelectronics, Anaheim, CA, 1987 /
Gespeichert in:
| Körperschaft: | |
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| Weitere Verfasser: | |
| Format: | Buch |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
New York :
American Institute of Physics,
1988.
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| Schriftenreihe: | American Vacuum Society series ;
4 AIP conference proceedings. no. 167. |
| Schlagworte: | |
| Tags: |
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