Introduction to microlithography : theory, materials, and processing /

Shranjeno v:
Bibliografske podrobnosti
Corporate Authors: American Chemical Society. Division of Organic Coatings and Plastics Chemistry, American Chemical Society. Meeting
Drugi avtorji: Thompson, L. F., 1944-, Willson, C. G. (C. Grant), 1939-, Bowden, M. J., 1943-
Format: Knjiga
Jezik:angleščina
Izdano: Washington, D.C. : The Society, 1983.
Serija:ACS symposium series ; 219
Teme:
Microlithography.
Photoresists.
Plasma etching.
Oznake: Označite
Brez oznak, prvi označite!
Prijava za informacije o izposojenih in rezerviranih

Podobne knjige/članki