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Sputtering by particle bombardment III : characteristics of sputtered particles, technical applicationsm /
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| अन्य लेखक: | , |
|---|---|
| स्वरूप: | पुस्तक |
| भाषा: | अंग्रेज़ी |
| प्रकाशित: |
Berlin :
Springer-Verlag,
c1991.
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| श्रृंखला: | Topics in applied physics ;
64 |
| विषय: | |
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