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Sputtering by particle bombardment III : characteristics of sputtered particles, technical applicationsm /
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| Autres auteurs: | , |
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| Format: | Livre |
| Langue: | anglais |
| Publié: |
Berlin :
Springer-Verlag,
c1991.
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| Collection: | Topics in applied physics ;
64 |
| Sujets: | |
| Tags: |
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| Description matérielle: | xii, 410 p. : ill. |
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| ISBN: | 3540534288 |