Исследование адсорбции летучих комплексов металлов с органическими лигандами
Исследована кинетика адсорбции/десорбции ряда летучих комплексов палладия(II) с ??дикетонами и их производными на поликристаллической поверхности нержавеющей стали. Состав газовой фазы, порядок десорбции, энергию активации десорбции и частотный фактор определяли, используя метод температурно-програм...
Saved in:
Main Authors: | , , , , |
---|---|
Format: | Article |
Language: | English |
Published: |
Chuiko Institute of Surface Chemistry of NAS of Ukraine
2011-08-01
|
Series: | Хімія, фізика та технологія поверхні |
Online Access: | https://cpts.com.ua/index.php/cpts/article/view/97 |
Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Summary: | Исследована кинетика адсорбции/десорбции ряда летучих комплексов палладия(II) с ??дикетонами и их производными на поликристаллической поверхности нержавеющей стали. Состав газовой фазы, порядок десорбции, энергию активации десорбции и частотный фактор определяли, используя метод температурно-программируемой десорбции с масс-спектрометрической регистрацией газовой фазы. Установлено, что для всего ряда соединений в интервале температур 303–473 К характерна физическая адсорбция. На основании полученных данных произведен отбор наиболее перспективных прекурсоров для получения пленок металлического палладия методами послойного и УФ-стимулированого осаждения. |
---|---|
ISSN: | 2079-1704 2518-1238 |