Исследование морфологии наночастиц SiO<sub>2</sub> в полирующих суспензиях методами АСМ и СЭМ
Описывается методика получения и результаты исследований морфологии наночастиц в концентрированных водных суспензиях на основе пирогенного диоксида кремния, а также силикатного золя, полученного по ионообменной технологии. Результаты имеют значение для разработки полировальных композиций, а также дл...
Saved in:
| Main Authors: | , , , , , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Chuiko Institute of Surface Chemistry of NAS of Ukraine
2014-02-01
|
| Series: | Хімія, фізика та технологія поверхні |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://cpts.com.ua/index.php/cpts/article/view/266 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Summary: | Описывается методика получения и результаты исследований морфологии наночастиц в концентрированных водных суспензиях на основе пирогенного диоксида кремния, а также силикатного золя, полученного по ионообменной технологии. Результаты имеют значение для разработки полировальных композиций, а также для установления закономерностей формирования структурных, химических и электрофизических свойств поверхности и объяснения механизма химико-механической полировки полупроводниковых материалов. |
|---|---|
| ISSN: | 2079-1704 2518-1238 |