Cathodo- and Photo- Luminescence of Silicon Rich Oxide Films Obtained by LPCVD
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| Autores principales: | , , |
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| Formato: | Electrónico Capítulo de libro |
| Lenguaje: | inglés |
| Publicado: |
IntechOpen
2012
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://www.intechopen.com/chapters/34043 |
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| Sumario: | None |
|---|---|
| ISBN: | 978-953-51-0362-2 |
| DOI: | 10.5772/34888 |