Thermodynamic Aspects of CVD Crystallization of Refractory Metals and Their Alloys

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Lakhotkin, Yu. V.
Format: Elektronisch Buchkapitel
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: IntechOpen 2011
Schlagworte:
Online-Zugang:https://www.intechopen.com/chapters/21858
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