Microlithography : process technology for IC fabrication /

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Detalles Bibliográficos
Autor principal: Elliott, David J.
Formato: Libro
Lenguaje:inglés
Publicado: New York : McGraw-Hill, c1986.
Materias:
Integrated circuits > Very large scale integration > Design and construction.
Microlithography.
Photoresists.
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